Ученые из Национального исследовательского ядерного университета «МИФИ» разработали плазменный генератор, создающий сильноточный импульсный магнетронный разряд в парах расплавленного материала, сообщает пресс-служба вуза.

Метод магнетронного нанесения заключается в нанесении тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда.  Электроны покидают поверхность катода за счёт ионно-электронной эмиссии под действием ионной бомбардировки. Распылённое вещество мишени, осаждаясь на подложку, формирует плотную плёнку. Поэтому метод используется для создания металлических и диэлектрических покрытий для электроники, в машиностроении строительстве и других областях. С его помощью создаются  энергосберегающие покрытия для стекол, также его используют для создания твердых покрытий на режущих инструментах. В микроэлектронике этот метод используется для металлизации плат интегральных схем, а в оптике – для создания светофильтров. Но одной из проблем магнетронного осаждения является низкая скорость роста пленок на деталях.  Как отметил инженер из НИЯУ МИФИ Александр Тумаркин, покрытия, получаемые вакуумным испарением, значительно уступают магнетронным по качеству, и перед промышленниками всегда вставала дилемма: качество изделий или производительность предприятия.

Устройство, разработанное в МИФИ, решает эту проблему. Как отмечается в статье, в новом устройстве для излучения импульсного магнетронного разряда с расплавленным катодом удалось объединить достоинства обеих технологий.

Созданное устройство состоит из плазменного узла и источника питания. Оно работает в особых режимах магнетронного разряда: одновременно с распылением происходит интенсивное испарение расплавленного материала, из которого формируется покрытие. Такая технология позволяет быстро и качественно наносить тонкие пленки, востребованные в области высоких технологий, отмечается в сообщении.

В настоящее время специалисты работают над промышленными образцами устройства, которые планируется в будущем внедрить в производство. Предполагается, что промышленный образец устройства сможет эксплуатироваться в качестве плазменного генератора в промышленных и лабораторных установках как отдельный модуль для создания высококачественных покрытий. По словам пресс-службы, потенциальными заказчиками являются предприятия по созданию энергосберегающих стекол, современных энергетических элементов, а также предприятия машиностроения различных профилей.